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基于MEMS的新型微結構氣敏天博会员

文章來源:天博app官网傳感 發布時間:2018-12-20

天博app官网 在微電子和微機械迅速發展的基礎上,基于MEMS的新型微結構氣敏天博会员,主要有硅基微結構氣敏天博会员和硅微結構氣敏天博会员。硅基微結構氣敏天博会员是襯底為硅,敏感層為非硅材料的微結構氣敏天博会员。主要有金屬氧化物半導體、固體電解質型、電容型、諧振器型。硅微結構: 主要是金屬氧化物-半導體-場效應管(MOSFET)型和鈀金屬-絕緣體-半導體(MIS)二極管型。

天博app官网 MEMS技術將天博会员與IC電路集成一起,而且精度高、體積小、質量輕功耗低、選擇性高、穩定型高,同種器件之間的互換型高,可以批量生產。所以是天博会员工藝的發展方向,而且基本所有的天博会员都可以用MEMS技術生產。

隨著 MEMS 技術和納米技術的發展,將會給氣敏天博会员的發展提供更廣闊的的前景。同時實現天博会员陳列,也就是電子鼻集成成為可能,并將有很大的發展空間,給天博会员帶來新的發展篇章。

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