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H2天博会员和最新敏感材料

文章來源:天博app官网傳感 發布時間:2018-03-20

采用NO直接氧化制備氮化氧化物作為絕緣層制備高性能Si基MOS肖特基二極管式氣體天博会员,這種肖特基二極管式氣體天博会员具有高的響應靈敏度和好的響應重復性,可以探測濃度約為10-6的氫氣。現在對特定的高溫環境下,檢測氣體有采用碳化硅代替硅,利用Pt作為電極,利用N2O氧化工藝制備金屬-絕緣體-SiC肖特基勢壘二極管氣體天博会员超薄柵介質,這種天博会员能在高溫下穩定工作。

將光纖傳輸、標準具透射、鈀膜的氫吸附、吸收光譜定量分析各種技術運用為一體,開發出了這種天博会员。用一束單色光照射標準具,敏感材料鈀吸附了H2,氫氣就會吸收單色光,分析吸收譜線刻知氫氣濃度。國外用Pd/PVDF膜制備了激光振幅可調的光學氫氣天博会员。該天博会员的檢測范圍為0.2%~100%。

Sb2O5-H2OH3PO4復合氧化物為固態電解質,利用混合壓膜和蒸發的方法制作傳感催化電極和參考電極,研制了室溫全固態電解質氫氣天博会员。也有用質子交換膜為電解質,碳紙和鉑黑分別為電極的擴散層和催化層,制作了恒電位式氫氣天博会员。通過在工作電極前面加設聚乙烯膜,增大氫氣擴散阻力,可以將氫氣氧化電流與氫氣濃度之間的線性關系提高到氫氣濃度。

半導體氫敏天博会员是以金屬鈀(Pd)作為柵極,由Pd-TiO2/SiO2-Si構成場效應管,當鈀柵場效應管吸收氫氣時,將使半導體的導電電子比例發生變化,因而使氫敏元件的阻值也隨著被測氫氣的濃度變化而變化,這種鈀極場效應管對氫氣十分敏感,它具有吸附環境中氫氣的功能,而對其他氣體則表現惰性。這種氫敏場效應管的特點是選擇性強、靈敏度高、響應速度快、穩定性好等。其主要結構如圖1所示。

為提高靈敏度,將PtO-Pt納米粒子膜與TiO2、SnO2納米粒子膜復合,使膜層結構得以優化,研制出具有雙層結構復合膜的新型氣體天博会员,實驗結果表明,PtO-Pt納米粒子膜的催化作用能顯著提高TiO2和SnO2膜的氫敏性能,TiO2/PtO-Pt復合膜和SnO2/ PtO-Pt復合膜對空氣中的氫氣有很高的選擇性。

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